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半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)是一套應(yīng)用在半導(dǎo)體測(cè)試行業(yè)中進(jìn)行高溫低溫測(cè)試的系統(tǒng)，其中溫度范圍比較寬，低溫可達(dá)-45℃，高溫可達(dá)250℃，半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水分，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。
半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)整個(gè)真空室位于擴(kuò)散泵正上方，有利于抽氣，加快抽氣速率，使真空室容易達(dá)到高真空。真空室內(nèi)設(shè)有紫銅封閉液氮池，可以在高真空下吸附氣體分子，提高真空度1個(gè)數(shù)量。使被測(cè)物在高真空中，不受環(huán)境影響進(jìn)行測(cè)試、分析。
半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)真空室裝置的真空室的法蘭與真空機(jī)組的擴(kuò)散泵抽氣法蘭對(duì)接，開(kāi)口處是20mm厚的防爆玻璃為觀察窗口，內(nèi)腔由紫銅液氮池，由漏斗將液氮倒入，經(jīng)直徑6mm的紫銅管進(jìn)入液氮池，另一根管口是揮發(fā)出氣口，池頂?shù)钠脚_(tái)是樣品測(cè)試臺(tái)，上面有15根測(cè)試用線，引出真空室外，在外面連接各種測(cè)量設(shè)備。真空室內(nèi)的氣體分子被吸附固定在液氮池表面，提高了真空度。透過(guò)高溫防爆玻璃，還可以觀察測(cè)量樣品的位移變化和發(fā)光強(qiáng)度。
半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)取放樣品時(shí)，先將固定玻璃的緊固圈旋開(kāi)，拿開(kāi)防爆玻璃再取放樣片。法蘭口與擴(kuò)散泵的抽氣口連接，真空度在1小時(shí)內(nèi)可達(dá)1.5×10-3Pa。需要低溫時(shí)將2升液氮由漏斗到入內(nèi)腔液氮池，出氣孔位于內(nèi)腔液氮池的頂部，由直徑6mm的紫銅管引出密封真空室外，樣品五分鐘內(nèi)可由室溫降到-45℃。在液氮蒸發(fā)減少過(guò)程中，液面降低，溫度逐漸上升，控制液面的高低，就可以控制溫度。控制高閥大小，就可以控制真空度。需要高溫測(cè)試時(shí)，可由調(diào)壓器控制真空室內(nèi)部的輻射式加熱器提升到較高250℃?？赏ㄟ^(guò)引入線控制加熱溫度，進(jìn)行導(dǎo)電率、發(fā)光率、變形率、超導(dǎo)率的測(cè)試。
半導(dǎo)體元件測(cè)試系統(tǒng)的導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度都可以反饋，升降溫快速，效果穩(wěn)定。（注：本來(lái)部分內(nèi)容來(lái)百度學(xué)術(shù)相關(guān)論文，如果侵權(quán)，請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系我們進(jìn)行刪除，謝謝。）
| 型號(hào) | TES-4555 / TES-4555W | |||||
| 溫度范圍 | -45℃～250℃ | |||||
| 加熱功率 | 5.5kW | |||||
| 制冷量 | 250℃ | 5.5kW | ||||
| 100℃ | 5.5kW | |||||
| 20℃ | 5.5kW | |||||
| 0℃ | 5kW | |||||
| -20℃ | 2.9kW | |||||
| -40℃ | 0.9kW | |||||
| 導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 | ±0.3℃ | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門(mén)子PLC，模糊PID控制算法，具備串控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式 外接溫度傳感器：（PT100或4～20mA或通信給定）控制模式（串控制） | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制45段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 外接入溫度反饋 | PT100或4～20mA或通信給定 | |||||
| 串控制時(shí) | 導(dǎo)熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設(shè)定可控制 | |||||
| 溫差控制功能 | 設(shè)備進(jìn)液口溫度與出液口溫度的溫度差值可設(shè)定可控制（保護(hù)系統(tǒng)安全） | |||||
| 密閉循環(huán)系統(tǒng) | 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙蜏刈詣?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。 | |||||
| 加熱 | 指系統(tǒng)大的加熱輸出功率（根據(jù)各型號(hào)） 加熱器有三重保護(hù)，獨(dú)立溫度限制器，確保加熱系統(tǒng)安全 功率大于10kW采用調(diào)壓器，加熱功率輸出控制采用4～20mA線性控制 | |||||
| 制冷能力 | 指在不同的溫度具備帶走熱量的能力（理想狀態(tài)下），實(shí)際工況需要考慮環(huán)境散熱，請(qǐng)適當(dāng)放大，并且做好保溫措施。 | |||||
| 循環(huán)泵流量、壓力 max | 采用冠亞磁力驅(qū)動(dòng)泵/德國(guó)品牌磁力驅(qū)動(dòng)泵 | |||||
| 50L/min2.5bar | ||||||
| 壓縮機(jī) | 艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 采用DANFOSS/高力板式換熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥） | |||||
| 操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | R-404A / R507C | |||||
| 接口尺寸 | G3/4 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 55*95*170 | |||||
| 外型尺寸（水）cm | 45*85*130 | |||||
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，上出風(fēng)型式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 套管式換熱器（帕麗斯/沈氏 ） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 1.5m3/h | |||||
| 電源 380V50HZ | 9kW max | |||||
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 隔離防爆 | 可定制隔離防爆（EXdIIBT4) 無(wú)錫冠亞防爆產(chǎn)品安裝許可證號(hào)：PCEC-2017-B025 | |||||
| 正壓防爆 | 可定制正壓防爆(EXPXdmbIICT4) 正壓系統(tǒng)必須是水冷設(shè)備 無(wú)錫冠亞防爆產(chǎn)品安裝許可證號(hào)：PCEC-2017-B025 | |||||
